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Hiden Analytical-第 6 頁
Hiden Analytical 是英國專業四極桿質譜儀製造商,擁有超過 40 年的設計、研發與製造經驗,專注於先進研究、真空診斷與製程監測應用。產品涵蓋即時氣體與蒸氣分析(Gas Analysis)、殘餘氣體分析(RGA)、催化與熱分析、電化學質譜(DEMS/OEMS)、電漿離子分析、SIMS 表面分析及特殊取樣系統等完整解決方案。Hiden 系統廣泛應用於半導體、真空科技、材料科學、能源、催化、化工、電化學與學術研究,並可依不同應用需求提供模組化與客製化質譜分析方案。
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專為 Hiden IMP-EPD 設計的蝕刻資料重播與端點偵測最佳化工具,可利用既有 Etch Data 模擬、調整及驗證 End Point 配方,降低晶圓耗用與製程開發成本。Learn MoreEP-Replayer-蝕刻端點偵測資料重播與製程最佳化軟體 -
專為 MBE 分子束磊晶與薄膜沉積設計的多源原位質譜監測系統,可同步監測多個分子束源並提供即時訊號,協助控制沉積速率、源穩定性與薄膜成長品質。Learn MoreXBS-MBE 多源分子束即時監測質譜系統 -
Hiden TDSLab Series 為超高真空熱脫附質譜分析系統,包含 TDSLab-6、TDSLab-9 與 TDSLab-20,可進行氫脆、半導體、光伏材料、同位素與核融合材料的 TPD/TDS 高靈敏度分析。Learn MoreTDSLab Series 超高真空熱脫附質譜分析系統 -
Hiden SIMS Workstation 超高真空表面分析系統,整合 Dynamic/Static SIMS 與 SNMS,可分析正、負二次離子,適用於薄膜深度剖析、痕量元素、同位素、3D 元素成像及材料表面組成研究。Learn MoreSIMS Workstation 高靈敏度二次離子質譜表面分析系統 -
Hiden ToF-qSIMS Workstation 創新整合 TOF-SIMS 與四極桿 SIMS,可同時提供高質量範圍、高質量解析度、平行全質譜資料收集與高動態範圍深度剖析,適用於聚合物、藥品、半導體、合金、塗層及介電材料等表面與微量成分分析。Learn MoreToF-qSIMS 飛行時間四極桿二次離子質譜表面分析系統 -
Hiden Compact SIMS 緊湊型二次離子質譜儀,專為表面污染、薄膜層結構、雜質、同位素與奈米級深度剖析設計,支援 SIMS、SNMS、2D/3D 成像與質譜分析。Learn MoreCompact SIMS 緊湊型二次離子質譜儀 -
Hiden AutoSIMS 全自動二次離子質譜表面分析系統,整合自動 X-Y 樣品台與模組化樣品架,支援 24/7 無人值守 Static/Dynamic SIMS、奈米級深度剖析與高通量批次分析。Learn MoreAutoSIMS 全自動二次離子質譜儀 -
Hiden EQS SIMS Analyser 為高傳輸靜電四極桿二次離子質譜分析器,可分析正、負二次離子並同時量測離子能量,適用於 Dynamic/Static SIMS、FIB-SIMS、SNMS、濺射深度剖析及 XPS/FIB 系統升級整合。Learn MoreEQS SIMS Analyser 靜電四極桿二次離子質譜分析器 -
Hiden MAXIM 為高靈敏度 SIMS / SNMS 質譜分析器,支援正、負二次離子、Static/Dynamic SIMS 與中性物種分析,整合 30° 離子能量篩選、高傳輸萃取光學、Triple Mass Filter 與脈衝離子計數偵測器,適合絕緣材料、薄膜、表面成像與深度剖析。Learn MoreMAXIM SIMS / SNMS 二次離子與濺射中性質譜分析器