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Hiden Analytical
Hiden Analytical 是英國知名四極桿質譜儀製造商,擁有超過 40 年的技術經驗,專注於先進研究與製程監測領域。產品涵蓋即時氣體分析(Gas Analysis)、殘餘氣體分析(RGA)、催化反應分析、電化學質譜(DEMS/OEMS)、電漿診斷及 SIMS 表面分析等完整解決方案,廣泛應用於半導體、真空科技、材料科學、能源、催化、化工及學術研究。Hiden 以優異的量測靈敏度、模組化設計及高度客製化能力,協助研究人員與工程師深入掌握反應機制與製程狀態,提升研究效率與分析品質。
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數據重播技術,用於預測終點與製程優化 Hiden EP-Replayer 可讓 IMP-EPD 使用者重播先前的蝕刻數據,有助於建立與優化終點檢測配方。透過在演算法式配方模板中定義變數,使用者能即時模擬並優化終點檢測過程。Learn MoreEP-Replayer -
MBE應用中的多源沉積監測。高抗污染目的設計的四極杆,用於沉積率監測、源品質分析和高性能真空診斷。Learn MoreXBS -
先進熱脫附分析系統 TDSLab 系列代表了熱脫附技術的最前沿,為多種應用提供客製化解決方案。其兼具精準性、可靠性與靈活性,廣泛適用於科研與產業領域。Learn MoreTDSLab Series 先進熱脫附分析系統 -
SIMS工作站將動態和靜態SIMS分析與雙模式質譜儀結合起來,用於正(+ve)和負(-ve)離子檢測,以及額外的二級中性質譜(SNMS)檢測模式,為表面分析應用提供了卓越的靈活性。Learn MoreSIMS/SNMS 工作站 -
Hiden TOF-qSIMS系統是為廣泛的材料的表面分析和深度剖析應用而設計的,包括聚合物、藥品、超導體、半導體、合金、光學和功能塗層以及電介質,對微量成分的測量可達到sub-ppm水準。Learn MoreToF-qSIMS 工作站 -
Hiden 緊湊型SIMS(二次離子質譜)具有較低的外形尺寸和簡單的用戶友好佈局,在整個週期表中具有出色的同位素靈敏度。Learn MoreCompact SIMS -
作為一個強大的表面分析解決方案,AutoSIMS適用於高產能操作,每天可進行數百次加工,無需操作員干預。Learn MoreAutoSIMS -
Hiden EQS(靜電四極杆)具有高傳輸率和集成的45°靜電扇形能量分析器,是一種多功能的正負離子SIMS檢測器,用於納米級的表面分析應用。Learn MoreEQS SIMS Analyser -
Hiden MAXIM是一個完整的四極杆質譜系統,帶有高透射光學和三重品質篩檢程式,支持在高達1000個原子品質單位(AMU)的品質範圍內進行詳細的表面成分測繪。Learn MoreMAXIM