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Hiden Analytical-Nanotechnology
Hiden Analytical 是英國專業四極桿質譜儀製造商,擁有超過 40 年的設計、研發與製造經驗,專注於先進研究、真空診斷與製程監測應用。產品涵蓋即時氣體與蒸氣分析(Gas Analysis)、殘餘氣體分析(RGA)、催化與熱分析、電化學質譜(DEMS/OEMS)、電漿離子分析、SIMS 表面分析及特殊取樣系統等完整解決方案。Hiden 系統廣泛應用於半導體、真空科技、材料科學、能源、催化、化工、電化學與學術研究,並可依不同應用需求提供模組化與客製化質譜分析方案。
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高靈敏度 UHV SIMS / SNMS 表面分析系統,整合 Dynamic SIMS、Static SIMS、正負二次離子、薄膜深度剖析、元素成像與 SNMS,可依研究需求配置多種 Primary Ion Source。Learn MoreSIMS Workstation-高靈敏度二次離子質譜表面分析系統 -
HPR-60 MBMS 分子束質譜系統,可直接分析常壓與反應性氣相中的中性物種、自由基及正負離子,適用於電漿化學、反應動力學、燃燒、催化及瞬態氣體研究。Learn MoreHPR-60 MBMS-分子束質譜與電漿活性物種分析系統 -
Hiden XBS 為 MBE 分子束外延製程設計的多源原位質譜監測系統,可同步監測多個 Beam Source,提供高靈敏度即時訊號、沉積速率監測與製程控制。Learn MoreXBS-MBE 多源分子束監測與沉積速率控制系統 -
Hiden TDSLab Series 為先進 UHV 熱脫附質譜分析平台,包含 TDSLab-6、TDSLab-9 與 TDSLab-20,適用於氫脆、半導體、高質量物種與核融合材料之 TDS / TPD 分析。Learn MoreTDSLab Series-先進熱脫附質譜分析系統 -
Hiden FIB-SIMS 為現有聚焦離子束 FIB 系統提供高性能 SIMS 分析能力,可進行奈米級元素表面 Mapping、3D Depth Profiling、同位素及原子/分子離子分析,適合半導體、薄膜、電池與先進材料研究。Learn MoreFIB-SIMS-聚焦離子束二次離子質譜奈米材料分析系統 -
先進型 Langmuir Probe 電漿診斷系統,可即時量測電漿電位、電子溫度、離子/電子密度、離子通量與 EEDF,支援 RF 補償、脈衝電漿與空間解析量測。Learn MoreESPion-先進型朗繆爾探針電漿診斷系統 -
Hiden CATLAB-PCS 為整合催化微反應器與四極桿質譜儀的催化研究系統,可進行催化劑表徵、反應測試、TPD、TPR/TPO、脈衝化學吸附及動力學與熱力學研究。Learn MoreCATLAB-PCS 催化微反應器與質譜分析系統 -
Hiden AutoSIMS 全自動二次離子質譜表面分析系統,整合自動 X-Y 樣品台與模組化樣品架,支援 24/7 無人值守 Static/Dynamic SIMS、奈米級深度剖析與高通量批次分析。Learn MoreAutoSIMS 全自動二次離子質譜儀