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XBS

分子束源需要精確控制，以實現可重複的生產品質的薄膜生長。Hiden的XBS（交叉束源）系統提供了對多個源的原位監測，並有即時信號輸出，以實現對沉積的精確控制。

Hiden的XBS是用於分子束質譜分析的一個很好的工具。

Hiden XBS RC系統是一個四級杆質譜儀，設計用於同時監測多個光束源，其獨特之處在於通過一個橫向於四級杆軸的70°錐體提供光束接受。

光束接受孔為每個特定的處理室源位置單獨配置，製造成可替換的外掛程式，以便在處理室發生變化時進行追溯修改。

XBS系統的高靈敏度和快速資料獲取為控制每秒0.01埃的生長速率提供了信號。

	產品特色
			高靈敏度，增強了從100%到5ppb的檢測能力，品質範圍達到510 amu
			增強的長期穩定性（24小時內高度變化小於±0.5%）
			橫樑式離子源，橫軸上的光束接受度為+/- 35°
			用於軟電離和外觀電位質譜的離子源控制
			高品質傳輸的增強靈敏度，自動品質尺規校準
			2毫米的光束接受孔徑 - 根據使用者的具體應用進行配置
			通過純射頻預過濾階段增強抗污染能力
			整體的UHV相容水冷護罩
			在分子束研究中，檢測極限低至30個離子/秒
			監測增長速度為1Å/分鐘及以下
			基於Windows™的MASsoft控制，通過RS232、USB或乙太網LAN進行控制