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- Thin Films, Plasma, Surface Engineering
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HMT－雙模式高壓殘餘氣體分析與真空製程監測系統
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產品特色 |
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HMT模式用於在5×10-3毫巴的高壓操作（最小可檢測分壓5×10-8毫巴） |
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RGA模式用於在P < 10-4 mbar時的高靈敏度操作（最小可檢測分壓2×10-11 mbar） | ||
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100 amu品質範圍，遠端（PC）通過MASsoft專業PC軟體控制介面 | ||
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100 amu的品質範圍，通過MASsoft Professional PC軟體的遠端（PC）控制介面 | ||
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穩定性（24小時內高度變化小於±1%） | ||
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通過MASsoft軟體控制，通過RS232、USB或通過乙太網LAN控制多個系統 | ||
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快速訪問，混合模式掃描，例如趨勢和類比在多個視窗進行 | ||
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同時即時顯示圖形和表格的趨勢分析資料 | ||
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滑鼠控制下的峰高識別游標 | ||
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即時背景減去，自動品質刻度校準 | ||
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資料匯出為ASCII格式，並可匯出至所有Windows設備 | ||
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動態資料交換設施，用於即時資料傳輸到其他DDE用戶端相容的Windows™應用程式，例如：Excel、SPC-IV統計程序控制軟體 | ||
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