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產品專區
IMP-EPD
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產品特色 |
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帶有脈衝離子計數檢測器的高靈敏度SIMS/MS |
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三重過濾四極杆，300 amu品質範圍是標準配置 | ||
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帶安裝法蘭的差分泵歧管，用於加工室 | ||
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帶能量分析器的離子光學系統和集成電離器 | ||
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潘寧測量儀和聯鎖裝置，提供過壓保護 | ||
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資料系統與工藝工具集成 | ||
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穩定性（24小時內高度變化小於±0.5%） | ||
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通過RS232、RS485或乙太網LAN進行MASsoft控制 | ||
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可程式設計的DDE，平行數位I/O，RS232腳本通信 | ||
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一個用於離子蝕刻控制和最佳工藝品質的系統
IMP-EPD是一個差分泵，堅固耐用的二次離子質譜儀，用於分析離子束蝕刻過程中的二次離子。該系統包括集成的軟體，具有為優化程序控制而開發的過程特定演算法。
概述
IMP-EPD是一個差分泵，堅固耐用的二次離子質譜儀，用於分析來自離子束蝕刻過程的二次離子。該系統包括集成的軟體，具有為最佳工藝控制而開發的特定工藝演算法。
IMP-EPD系統在生產高規格薄膜設備的過程中得到了驗證，其應用包括磁性薄膜、高溫超導體和III-V半導體。
產品特色 |
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帶有脈衝離子計數檢測器的高靈敏度SIMS/MS |
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三重過濾四極杆，300 amu品質範圍是標準配置 |
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帶安裝法蘭的差分泵歧管，用於加工室 |
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帶能量分析器的離子光學系統和集成電離器 |
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潘寧測量儀和聯鎖裝置，提供過壓保護 |
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資料系統與工藝工具集成 |
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穩定性（24小時內高度變化小於±0.5%） |
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通過RS232、RS485或乙太網LAN進行MASsoft控制 |
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可程式設計的DDE，平行數位I/O，RS232腳本通信 |
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