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QMS 即時氣體分析應用｜ALD Precursor 鋼瓶回收清潔與純化監測

ALD Precursor Cylinder 在回收再生過程中需進行清潔、抽氣與 Bake-out，以降低殘留前驅物、反應副產物、水氣及揮發性污染物。QMS 可利用 Characteristic / Fragment Ions 建立特定 m/z 監測方式，即時追蹤 Precursor 殘留與下降趨勢，並依 Acceptance Criteria 判定清潔終點，同時支援 Swagelok、VCR、NW(KF) 等現場管線與 PLC / DCS 系統整合。

QMS 即時氣體分析應用｜有機溶劑純化過程之即時氣相監測

有機溶劑純化製程若只依固定時間操作，無法直接確認實際氣體成分是否已達製程要求。利用 Hiden QMS / RGA 進行連續即時監測，可追蹤 Volatile Species 的訊號與濃度變化，進行 Purification Process Monitoring、Trend Analysis 與 End-Point Determination，並可進一步整合 PLC / DCS、自動閥門與 Interlock，建立數據化與自動化純化製程。

QMS 即時氣體分析應用｜鋼瓶烘烤除氣過程之水氣即時監測

鋼瓶清洗與抽氣後通常需透過 Bake-out 降低內部水氣與殘留氣體。本案例利用 Hiden QMS / RGA 連續監測 H₂O 的 m/z 18 訊號，建立水氣濃度與質譜訊號之定量關係，將傳統固定烘烤時間轉變為依據實際數據進行製程終點判定。實際導入後，Bake-out Time 縮短 28%，同時可提升設備產能、降低能源成本並協助辨識洩漏與異常 Outgassing。

Hiden HPR-20 R&D QMS 成功整合 Micromeritics AutoChem III 催化反應分析系統

恩詠有限公司成功完成 Hiden HPR-20 R&D 四極桿質譜儀與 Micromeritics AutoChem III 催化反應分析系統整合，建立可即時監測催化反應氣體組成變化的線上質譜分析平台，並順利完成首次氨分解催化反應測試。

Hiden Isochema 高分子材料氣體與蒸氣吸附研究

•高分子材料的氣體與蒸氣交互作用 •IGA-001：非多孔與多孔聚合物氣體吸附 •IGA-002：廣泛壓力與溫度條件的吸附分析 •XEMIS：擴展研究範圍 •IGAsorp：水氣傳輸率 (MVTR) 測試

Hiden Isochema 離子液體溶解度與擴散研究

•離子液體的氣體與蒸氣溶解度研究 •IGA / IGAsorp：CO₂、水分與氫氟碳化物吸附 •XEMIS：擴展研究範圍與壓力條件

Hiden Isochema 金屬氫化物吸附與脫附分析

•金屬氫化物的氫氣儲存與應用 •IGA-001：氫吸附量測 •IMI-HTP：高壓氫化物分析 •IMI-FLOW：程式升溫脫附 (TPD)

Hiden Isochema 建材吸附與擴散特性分析

•建材與水分交互作用研究 •IGAsorp 與 IGAsorp-CT：常壓濕度測試 •IGA-002：蒸氣吸附等溫線

Hiden Isochema 天然材料吸附特性研究

•天然材料的氣體與水分吸附 •IGAsorp 與 IGA-002：濕氣吸附分析 •IGA-001 與 IMI 系列：環境氣體吸附 •XEMIS：極端條件下的吸附研究