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Hiden Analytical－Surface Analysis－第 2 頁
Hiden Analytical 是英國專業四極桿質譜儀製造商，擁有超過 40 年的設計、研發與製造經驗，專注於先進研究、真空診斷與製程監測應用。產品涵蓋即時氣體與蒸氣分析（Gas Analysis）、殘餘氣體分析（RGA）、催化與熱分析、電化學質譜（DEMS／OEMS）、電漿離子分析、SIMS 表面分析及特殊取樣系統等完整解決方案。Hiden 系統廣泛應用於半導體、真空科技、材料科學、能源、催化、化工、電化學與學術研究，並可依不同應用需求提供模組化與客製化質譜分析方案。
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Hiden Modular SIMS 可透過單一 DN-150-CF 法蘭，將完整 SIMS 分析能力整合至既有真空腔體，包含 Ion Gun、EQS Spectrometer、Electron Gun、照明與攝影模組及可伸縮樣品電流監視器，適用於薄膜、腐蝕、金屬材料、表面污染與奈米級深度剖析。Learn MoreModular SIMS 模組化二次離子質譜表面分析系統 -
Hiden Custom SIMS Solutions 利用模組化四極桿 SIMS 技術與客製化工程設計，可將 SIMS 整合至既有真空系統，或從零規劃完整表面分析儀器；支援 Dual Polarity SIMS、FIB-SIMS、DLS-20 高質量解析、奈米級定位、樣品加熱／冷卻及同位素氣體研究。Learn MoreCustom SIMS Solutions 客製化二次離子質譜表面分析系統 -
Hiden XPS for SIMS 將 XPS、UPS、AES、SAM、ISS、LEIS 與 SIMS 整合於同一 UHV Surface Science 平台，可同時取得元素組成、化學鍵結、化學態與高靈敏度深度剖析資訊；採用 SPECS PHOIBOS 150 HV、1D-DLD Detector 與 HSA 7000 高穩定電源，適合薄膜、半導體、能源材料與多技術表面分析研究。Learn MoreXPS for SIMS－XPS / SIMS 多技術超高真空表面分析系統