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HAL 201 RC


 

 

為苛刻的UHV應用配置的殘餘氣體分析儀

 

 

Hiden RGA for UHV是為要求嚴格的UHV應用中的殘餘氣體分析而設計和配置的,這些應用需要在UHV下進行關鍵測量。


 

 

概述

HAL 201 RC分析儀的標準配置是真空燒制的離子源,採用Hiden專有的真空退火工藝處理。真空退火的離子源可以最大限度地減少放氣,在總壓力小於5 x 10-10 mbar的高真空應用中,可以獲得卓越的背景測量性能。


EPICS是世界上許多光源使用的標準儀器控制軟體,Hiden HAL系統與EPICS軟體驅動完全相容。

   

 

 

產品特色

 

 

真空燒制的離子源,最大限度地減少了離子源的放氣現象

 

  電子衝擊電離器,帶有雙氧化層的銥金燈絲
 

  雙法拉第/通道式電子倍增器探測器
 

  最小可檢測部分壓力為5 x 10-14 mbar
 

  最大工作壓力為1 x 10-4 mbar
       

 

 

下載

 
    演講稿:  
  用於殘餘氣體分析的質譜儀 - RGA | 在真空環境中的應用  
       
       
       
   
 

相關產品

 
  RGA Series  
  3F Series RGA  
  3F-PIC  
  HALO  
       
   

 

為苛刻的UHV應用配置的殘餘氣體分析儀

 

Hiden RGA for UHV是為要求嚴格的UHV應用中的殘餘氣體分析而設計和配置的,這些應用需要在UHV下進行關鍵測量。

 

 

概述

HAL 201 RC分析儀的標準配置是真空燒制的離子源,採用Hiden專有的真空退火工藝處理。真空退火的離子源可以最大限度地減少放氣,在總壓力小於5 x 10-10 mbar的高真空應用中,可以獲得卓越的背景測量性能。


EPICS是世界上許多光源使用的標準儀器控制軟體,Hiden HAL系統與EPICS軟體驅動完全相容。

 

產品特色

 

真空燒制的離子源,最大限度地減少了離子源的放氣現象

 

電子衝擊電離器,帶有雙氧化層的銥金燈絲

 

雙法拉第/通道式電子倍增器探測器

 

最小可檢測部分壓力為5 x 10-14 mbar

 

最大工作壓力為1 x 10-4 mbar

     

 

 

下載

 
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  用於殘餘氣體分析的質譜儀 - RGA | 在真空環境中的應用  
       
   
 
 

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